近日,第356期東方科技論壇“集成電路關鍵材料的現狀及解決方案”在中國科學院上海分院舉辦。此次論壇由上海市人民政府、中國科學院和中國工程院主辦,中國科學院上海硅酸鹽研究所、中國科學院上海有機化學研究所和中國科學院上海微系統與信息技術研究所聯合承辦。中科院上海分院院長胡金波、中科院上海微系統所黨委書記俞躍輝、中科院上海硅酸鹽所副所長蘇良碧,以及來自各科研院所、高校、化工及半導體企業等14家單位的60余名嘉賓和研討專家出席了本次論壇。中科院上海有機化學研究所沈其龍研究員、中科院上海微系統與信息技術研究所俞文杰研究員、中科院上海硅酸鹽研究所劉學建研究員共同擔任執行主席。
開幕式上,胡金波致歡迎辭,表示期望本次論壇能緊緊圍繞集成電路中的關鍵材料的研發中的挑戰與難點,集思廣益,攻堅克難,為保障國家安全和國民經濟發展貢獻力量。上海硅酸鹽所20余位研究人員參加此次會議,劉學建研究員和姜大朋副研究員分別以“光刻機用先進陶瓷材料研究進展”和“光刻機物鏡系統及掩膜臺用關鍵光學材料研究”為題作了報告,介紹研究所在光刻機關鍵核心材料的研制和應用方面的進展。
參會專家們共同就如何解決集成電路關鍵材料的研發進行了學術分享和熱烈討論,為實現我國徹底解決集成電路關鍵材料“卡脖子”問題和關鍵核心技術實現自強自立獻計獻策。圍繞集成電路關鍵材料的研發中遇到的問題:如何實現產、學、研更緊密的結合,關鍵材料研發中所使用的關鍵器具對于進口的依賴以及國內對于關鍵原材料的供應以及質量保證,專家們進行了深入的交流和討論。
本次論壇為集成電路產業鏈探討合作共贏提供一個良好的平臺,讓“產”“學”“研”各環節中學術界以及產業界的專家進一步了解集成電路產業鏈中材料的相關問題,探索研究機構通過科技創新提供相應的解決方案并轉化為生產力的有效途徑,將對上海市的集成電路產業崛起產生積極的推動作用。

中科院上海分院院長胡金波致辭

劉學建研究員作報告

姜大朋副研究員作報告

參會專家代表合影